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電子級(jí)硼酸三甲酯TMB

價(jià)格

55000 元/件

  • 單價(jià)：電議
  • 最小起訂量： 1件
  • 所在地：廣東 深圳
  • 供貨總量： 1000件
  • 發(fā)布時(shí)間：2021-11-30

聯(lián)系方式

產(chǎn)品描述

電子級(jí)硼酸三甲酯TMB

一、分子式: B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性質(zhì)

    無(wú)色液體，無(wú)明顯氣味，性質(zhì)穩(wěn)定。熔點(diǎn)-29℃，密度0.915g/ml，沸點(diǎn)67～68℃。易燃，

與能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)。水解生成甲醇和硼酸，能溶劑混溶。

四、用途

    主要用于晶圓制造過(guò)程中化學(xué)氣相沉積（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半導(dǎo)體、

分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料

Dielectrics PMD/IMD

TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB

Low K Dielectrics

4MS ,OMCATS

High K Dielectrics

TAETO (Ta2O5 Precursor )

TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)

TMA (Al2O3 Precursor)

Metal Gate and Interconnect Metal

TDMAT (TiN Precursor )

TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )

Low-Temp Nitride/Oxide

HCDS

Diffusion

POCl3

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