產(chǎn)品描述
氮化鋁(AlN)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發(fā)料
【參數(shù)說明】
支持靶材定制，請?zhí)峁┌胁漠a(chǎn)品的元素、比例（重量比或原子比）、規(guī)格，我們會盡快為您報價�。�
【產(chǎn)品介紹】
氮化鋁是共價鍵化合物，屬于六方晶系，鉛鋅礦型的晶體結構，呈白色或灰白色。
|
中文名 |
氮化鋁 |
CAS登錄號 |
24304-00-5 |
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化學式 |
AlN |
EINECS登錄號 |
246-140-8 |
|
分子量 |
40.9882 |
密度 |
3.235g/cm³ |
【關于我們】
服務項目：靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制�？蒲袉挝回浀礁犊睿|(zhì)量保證，售后無憂！
產(chǎn)品附件：發(fā)貨時產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/產(chǎn)品為真空包裝
適用儀器：多種型號磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設備
質(zhì)量控制：嚴格控制生產(chǎn)工藝，采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段，分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度；可提供質(zhì)檢報告。
加工流程：熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導熱性差，連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況，綁定背靶后，可提高化合物靶材的導熱性能，提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您，選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶！
我公司采用高純銦作為焊料，銦焊厚度約為0.2mm，高純無氧銅作為背靶。
注 ：高純銦的熔點約為156℃，靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化！綁定背靶不影響靶材的正常使用！
建議：陶瓷脆性靶材、燒結靶材，高功率下濺射易碎，建議濺射功率不超過3W/cm2。
我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材，歡迎您的垂詢。
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