產(chǎn)品描述
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為較苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). HVA 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計(jì), 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動(dòng)部件, 較大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥較大烘烤溫度 250°C
全部美國設(shè)計(jì), 制造, 組裝, ****進(jìn)口
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
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閥門材質(zhì): |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關(guān)閉 |
2 bar (任意位置) |
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- 開啟前較大壓力 |
≤ 1 bar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 佛橡膠密封 |
150 °c, 可選配置較大 250 °c |
|
- 驅(qū)動(dòng)方式 |
手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,較大 |
115 VAC |
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使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 50 - 200 mm |
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HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
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