產品描述
| SK-G05163 | SK-G06163 | SK-G08163 | SK-G10163 | ||
| 進口程序 | SK-G05165 | SK-G06165 | SK-G08165 | SK-G10165 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 溫度 | 1700℃ | ||||
| 加熱區(qū)長度 | 260mm | ||||
| 恒溫區(qū)長度 | 130mm | ||||
| 加熱元件 | 硅鉬棒 | ||||
| 空爐升溫時間 | <40min | ||||
| 額定功率 | 4Kw | ||||
| 額定電壓 | 220V | ||||
| 溫度控制 | 國產程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制；進口程序控溫系統(tǒng)可編輯4段程序控制； | ||||
| 控溫精度 | ±1℃ | ||||
|
石英管尺寸(mm) |
Φ50/40x1000 | Φ60/50x1000 | Φ80/70x1000 | Φ100/90x1000 | |
| 爐管材料 | 剛玉管 | ||||
|
爐管工作溫度 |
＜1600℃ | ||||
| 配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min | ||||
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)； | ||||
| 氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質量流量控制系統(tǒng)； | |||||
| 計算機集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)； | |||||
| 外形尺寸(深x寬x高) | 520x600x803mm | ||||
| 重量 | 145Kg | ||||
| 標準配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表)，剛玉管一支，剛玉堵塞四支/舟一支，鉤子一把，高溫手套 | ||||
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