回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備 BTF-1200C-V-R-280

一、設(shè)備特點(diǎn)：

1、本設(shè)備提供一個(gè)五溫區(qū)的超長(zhǎng)溫場(chǎng)，五個(gè)溫區(qū)可單獨(dú)控制

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，上下可電動(dòng)開(kāi)啟。

3、流量計(jì)和加熱采用模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)保養(yǎng)。

4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲，zui高使用溫度可以達(dá)到1200度，使用壽命長(zhǎng)，溫場(chǎng)流場(chǎng)均勻。

5、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。

6、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理，美觀方便。

 

二、設(shè)備組成：

加熱系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

1、加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其較低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無(wú)須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶啟動(dòng)緊急信號(hào)保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

 

2、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360?勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

 

3、螺旋送料器：

先將樣品儲(chǔ)存于樣品罐中，通過(guò)螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始，達(dá)到自動(dòng)送料。

4、供氣系統(tǒng)：

供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與準(zhǔn)確雙卡套接頭連接組成，觸摸屏控制。

5、真空系統(tǒng)：

真空機(jī)組，內(nèi)部安裝BSV-60機(jī)械泵1臺(tái)，電阻真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

 

腔體尺寸	外徑Φ280 ，Φ300，Φ400，Φ500，Φ600尺寸可選 （中間異型區(qū)域尺寸）
爐膛保溫材料	氧化鋁纖維
表面溫度	≤60℃
加熱元件	進(jìn)口KTL電阻絲
加熱區(qū)數(shù)量	5區(qū)，每個(gè)溫度單獨(dú)控制，使溫場(chǎng)均勻性更好
加熱區(qū)長(zhǎng)度	300 300 300 300 300mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度	真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下，兩個(gè)溫區(qū)設(shè)定同一溫度是恒溫區(qū)可達(dá)1200mm
zui高溫度	1200℃
建議長(zhǎng)時(shí)間使用溫度	＜1100℃
控溫精度	?1℃
升溫速率	0-20℃/min，建議升溫速率10℃/min
設(shè)備功率	28KW
設(shè)備工作電源	380V/50HZ
熱電偶型號(hào)	K型
控制器	可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動(dòng)
控溫方式	人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制
無(wú)紙記錄	內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)
結(jié)構(gòu)描述	設(shè)備可對(duì)半電動(dòng)開(kāi)啟，加快冷卻速度、表面溫度低于60℃
轉(zhuǎn)動(dòng)密封收集系統(tǒng)	爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)	500sccm、1000sccm、2000sccm（量程型號(hào)根據(jù)要求定制）
zuida壓力	3MPa
接口	Φ6
顯示	液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6卡套接頭

 

五、真空機(jī)組參數(shù)：

空氣相對(duì)濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V?10%  50~60HZ
功率	1千瓦
抽氣速率	60m?/h
較限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF40
排氣口口徑	KF40
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連
電阻真空計(jì)參數(shù)：
配用規(guī)管：	ZJ-52T電阻規(guī)，
測(cè)量范圍：	10 5 ～10 -1 Pa，
測(cè)量路數(shù)：	1路
控制范圍：	5?10 3 ～5?10 -1 Pa，
控制方式：	繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載
電源：	90-260V/50Hz或220V ? 10% 50Hz，
功耗：	20W