智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

加熱區(qū)參數(shù)：

加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加熱區(qū)長度：400mm（200 200mm）
恒溫區(qū)長度: 200mm  (100 100mm)（?1℃）
工作溫度：1100℃
zui高溫度：1200℃
控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶啟動緊急信號功能
控溫精度:?1℃

zui大升降溫速率：≤30℃/min

爐管：高純度石英管Φ25\50\60\80\100\150x2000mm  (管徑可選)

標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

尺寸約：2000?600?1500 mm（長、寬、高）

備注：可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)：

質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準(zhǔn)確度：?1.5%

線性：?0.5～1.5%

重復(fù)精度：?0.2%

響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

zui大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

低真空系統(tǒng)參數(shù)：

國產(chǎn)油泵型號：BSV-10

抽速：10m?/h

較限真空度：5*10-1pa

電源：220v 50hz

電機(jī)功率：0.4kw  

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù)：

1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)，

2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa，

3.測量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5?10 3 ～5?10 -1 Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ? 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

射頻源主要參數(shù)：

信號頻率：13.56 MHz?0.005%

功率輸出范圍：0-500W

zui大反射功率:100W

射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定性：≤5W

諧波分量：≤-50dbc

供電電壓：單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機(jī)效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

備注：可根據(jù)腔體大小選擇射頻源功率。