安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
已認(rèn)證
Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營(yíng)：管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
產(chǎn)品描述
| 項(xiàng)目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
| 規(guī)格型號(hào) | BTF-1200C-RTP-180 | |
| 溫度控制 | 溫度點(diǎn) | 1200℃ |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 100～1050℃ | |
| 溫度測(cè)量 | ?0.2℃ | |
| 溫度控制重復(fù)性 | ?1℃ | |
| 溫度控制 | ?1℃ | |
| 溫場(chǎng)均勻性 | ?2℃ | |
| 溫度狀態(tài)工藝時(shí)間 | 2～100（100～1050℃） | |
| 升溫速率 | 30℃/S（可根據(jù)客戶需求定制） | |
| 降溫速率 | 1～300，可以采用打開(kāi)爐體降溫或移除爐管降溫同時(shí)啟動(dòng)流量計(jì)閥控控制氣體冷卻 | |
| 溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)控制 | |
| 觸摸屏尺寸 | 7"LCD 工控電腦 | |
| 物理指標(biāo) | 功率（KW） | 24 |
| 額定電壓 | 220V/AC380～400V 50-60HZ 自動(dòng)匹配 | |
| 傳感器類型 | K型 | |
| 反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ180?580 | |
| 式樣有效空間 | 6 | |
| 抽氣端口尺寸 | KF25 | |
| 供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | |
| 冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | |
| 外形凈尺寸 | 長(zhǎng)920?深500?高560mm | |
| 重量 | 約80Kg | |
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- 經(jīng)營(yíng)模式：制造商+服務(wù)商
- 主營(yíng)：管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀
- 地區(qū)：安徽 合肥
